密封件老化/损坏：长期高温环境会导致密封圈（常用氟橡胶、硅橡胶材质）变硬、开裂、变形，失去弹性；频繁开关炉门也可能造成密封件磨损。
密封面污染/损伤：炉门密封面、法兰连接面若残留油污、金属碎屑、氧化皮，或存在划痕、凹陷，会破坏密封贴合度，形成漏气通道。
安装/紧固不当：炉门未完全关闭、法兰螺栓紧固不均匀（局部缝隙）、密封件安装错位，都会导致密封失效。
真空泵故障：① 机械泵（前级泵）油位过低、油品变质（含杂质、水分），会降低泵的抽气能力；② 泵体零件磨损（如转子、叶片），导致内部漏气；③ 真空泵电机转速异常、皮带松动，无法达到额定抽气速率；④ 扩散泵（高真空阶段用）加热不足、扩散泵油失效，无法实现高真空抽气。
真空阀门故障：阀门未完全打开、阀芯磨损/卡滞，或阀门密封面漏气，会阻碍气体流通，导致抽气受阻。
真空表失真：真空表（如电离规、电阻规）故障，误显示“真空抽不下去”，实际真空度已达标（需通过备用仪表验证）。
材料残留污染物：待加工工件表面有油污、防锈油、水分，或装炉工装（夹具）残留杂质，高温下会挥发产生大量气体，增加抽气负荷。
炉内吸附气体：炉衬材料（如保温棉、耐火砖）长期使用后会吸附大量空气和水汽，若未提前预热除气，抽真空时会持续释放气体。
工艺残留：前序加工后炉内残留的氧化皮、金属粉尘，或钎焊工艺残留的钎剂挥发物，会堵塞抽气通道或释放有害气体。
管路堵塞：管路内残留的粉尘、氧化皮、油污堆积，或冷凝水结冰（低温环境），堵塞气体通道。
管路漏气：管路焊接处、接头处密封不严，或管路老化开裂，导致外部空气渗入，同时影响抽气效率。
过滤器堵塞：真空管路中的粉尘过滤器、油雾过滤器长期未清理，滤网堵塞，阻碍气体流通。
初步验证：先检查真空表是否正常（更换备用表或校准），排除仪表失真问题；同时确认真空泵电源、皮带、油位等基础状态，确保泵正常启动。
检查密封状态：① 目视检查炉门密封圈是否完好、有无错位，密封面是否干净；② 用“皂液检漏法”：在炉门密封面、法兰接头、管路焊缝处涂抹肥皂水，若出现气泡，说明存在漏气点；③ 紧固法兰螺栓（均匀用力，避免局部松动），重新关闭炉门确认贴合到位。
检查真空系统：① 若前级泵抽气缓慢，检查泵油是否变质（需更换新油）、泵体是否有异响（判断零件磨损）；② 检查真空阀门：手动切换阀门，确认阀芯灵活，关闭阀门后观察真空度是否保持（若真空度快速下降，说明阀门漏气）；③ 高真空阶段抽不下去，检查扩散泵加热功率、扩散泵油液位，必要时更换扩散泵油。
检查炉内与管路：① 打开炉门，清理炉内残留的杂质、氧化皮，检查工件是否清洁（有油污需提前脱脂）；② 对炉衬进行预热除气（低温烘烤1-2小时），释放吸附的水汽和空气；③ 拆卸管路过滤器，清理滤网杂质，检查管路内是否有堵塞或结冰。
密封问题：更换老化/损坏的密封圈，用砂纸打磨修复轻微划痕的密封面（严重划痕需更换密封件基座），重新均匀紧固螺栓；密封面涂抹专用真空密封脂，提升密封效果。
真空系统问题：更换真空泵油，维修或更换磨损的泵体零件；更换漏气的真空阀门，校准或更换失真的真空表；检修扩散泵加热装置，补充或更换扩散泵油。
炉内污染问题：工件提前脱脂、干燥处理，炉内定期清理杂质；每次使用前对炉衬进行预热除气，减少吸附气体释放。
管路问题：清理管路内堵塞物，更换老化开裂的管路，重新焊接漏气的接头；定期更换或清洗过滤器滤网。
日常维护：定期检查密封件状态，每3-6个月更换一次真空泵油，定期清理炉内和管路杂质。
规范操作：工件加工前必须清洁（脱脂、干燥），装炉时避免碰撞密封面；开关炉门轻柔，避免密封件磨损；每次使用后关闭真空阀门，保持炉内微正压，防止密封件氧化。
环境控制：保持设备运行环境干燥、清洁，低温环境下做好管路保温，防止冷凝水结冰。